白光干涉技术

透明膜或半透明膜层的干涉波谱通过TranSpec Prozess Spectrometer或TranSpec-Lite膜厚仪进行测量和分析，如下图所示。样品通过一个连接分光仪和卤素灯的分叉光纤被照射。干涉波谱被引导至分光仪进行分析和厚度计算。

产品特点

• 光学方法：非接触式、无损。无β辐射，无需校准！
• 快速测量和薄膜厚度评估-在毫秒内！
• 厚度测量范围广，约0.1至150um（约0.004至6mil）
• 高精度：通常在整个厚度范围内优于±0.005um
• 可同时测定双层甚至三层
• 舒适易用的软件FTM-ProVis Lite和FTM-ProVis Professional
• 功能强大的编程库FTM-ProLib++，适用于您自己的应用程序

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