通过感应涡流技术对金属层厚度进行快速测量

可测量从几纳米至毫米级的膜层厚度。基本原理是利用交变磁场在金属膜层中感应出涡流，所有垂直方向的导电元素均会参与响应。金属膜中垂直堆叠的每个金属原子都对电流传导能力作出贡献，该能力被定义为方块电阻，并与金属厚度存在关联性。 

超薄金属膜采用高频涡流传感器（<100 MHz）检测，超厚材料则使用低频涡流传感器（>10 kHz）。可直接校准特定金属材料的厚度值，或利用方块电阻与金属厚度的相关性进行换算。仪器出厂时已预置测量程序，可立即执行多种金属厚度的测量任务。

感应涡流技术原理

涡流检测法通过局部电导率变化来表征样品的质量特征，如厚度、薄层电阻、材料均匀性或其它物理性质变化。复杂的涡流信号包含被测材料的多种信息，这些信息通常可通过算法进行分离。仪器采用的高性能涡流电子设备提供10 kHz至100 MHz的宽频范围，可根据应用需求实现不同的灵敏度和渗透深度。这是一种针对金属膜层的无损的实时测量技术。

原理图

应用领域

 ·  汽车内外饰、车标、反光罩的PVD镀膜
 ·  半导体背金

 ·  ITO薄膜
 ·  PCB铜箔和覆铜板                         

 ·  光伏电池金属化层

技术特点

 ·  非接触且无损 

 ·  快速测量  

 ·  高灵敏度 

 ·  高重复性和准确性

 ·  电池和燃料电池的电极

 ·  镜面反射涂层
 ·  包装材料阻隔
 ·  屏蔽材料应用
 ·  加热材料应用

 ·  测量范围广（可定制不同配置，实现2 纳米至2 毫米的厚度测量范围）

 ·  能够透过封装和保护层测量底层的金属层

 ·  可支持在线自动化测量