通过感应涡流技术对金属层厚度进行快速测量
可测量从几纳米至毫米级的膜层厚度。基本原理是利用交变磁场在金属膜层中感应出涡流,所有垂直方向的导电元素均会参与响应。金属膜中垂直堆叠的每个金属原子都对电流传导能力作出贡献,该能力被定义为方块电阻,并与金属厚度存在关联性。
超薄金属膜采用高频涡流传感器(<100 MHz)检测,超厚材料则使用低频涡流传感器(>10 kHz)。可直接校准特定金属材料的厚度值,或利用方块电阻与金属厚度的相关性进行换算。仪器出厂时已预置测量程序,可立即执行多种金属厚度的测量任务。
感应涡流技术原理
涡流检测法通过局部电导率变化来表征样品的质量特征,如厚度、薄层电阻、材料均匀性或其它物理性质变化。复杂的涡流信号包含被测材料的多种信息,这些信息通常可通过算法进行分离。仪器采用的高性能涡流电子设备提供10 kHz至100 MHz的宽频范围,可根据应用需求实现不同的灵敏度和渗透深度。这是一种针对金属膜层的无损的实时测量技术。
原理图
应用领域
· 汽车内外饰、车标、反光罩的PVD镀膜
· 半导体背金
· ITO薄膜
· PCB铜箔和覆铜板
· 光伏电池金属化层
技术特点
· 非接触且无损
· 快速测量
· 高灵敏度
· 高重复性和准确性
· 电池和燃料电池的电极
· 镜面反射涂层
· 包装材料阻隔
· 屏蔽材料应用
· 加热材料应用
· 测量范围广(可定制不同配置,实现2 纳米至2 毫米的厚度测量范围)
· 能够透过封装和保护层测量底层的金属层
· 可支持在线自动化测量