全自动晶圆测量系统

搭载EFEM装置的全自动晶圆测量系统，可实现对晶圆表面镀层厚度，SnAg%的全自动测量。

测试原理：XRF
测试项目：
1.金属层厚度，如Au、Ni、Pd、Sn、Ag、Ti、Cu、等…
2.Bumping的SnAg%比例

全自动载板测量系统

全自动载板测量系统，对载板正反面的金属镀层厚度进行全自动测量

测试原理：XRF
测试项目：金属层厚度如Au、Ni、Pd、Sn、Ag、Ti、Cu、等…

全自动透光膜测量系统

安装于测量桥上的测头快速往复运动，实时采集透光膜的厚度。

测试原理：白光干涉

测试项目：各种可透光镀层厚度、透光薄膜厚度

全自动金属膜测量系统

测头集成于镀层产线中，实时采集金属膜的厚度。

测试原理：感应涡流

测量项目：各种金属镀层厚度、金属薄膜厚度