白光干涉技术

使用一种常见的效应，例如肥皂泡或水上的油膜薄膜，在这里用于测定薄膜厚度。您可以看到许多颜色根据图层的厚度而变化，例如，当肥皂泡被吹起时。

这些“薄层的颜色”是基于干涉现象，即光波的叠加，光波在膜的正面和背面发生反射（两个不同的边界有不同的光学密度）。

两个反射光束1和2的未扰动叠加导致白色连续光源（例如作为伪白色光源的卤素光谱灯）的光谱周期性放大和消除。由于两条光束的叠加不是纯粹的累加，因此会发生干涉。

透明膜或半透明膜层的干涉波谱通过TranSpec Prozess Spectrometer或TranSpec-Lite膜厚仪进行测量和分析，如右图所示。样品通过一个连接分光仪和卤素灯的分叉光纤被照射。干涉波谱被引导至分光仪进行分析和厚度计算。

• 光学方法：非接触式、无损。无β辐射，无需校准！
• 快速测量和薄膜厚度评估-在毫秒内！
• 厚度测量范围广，约0.1至150um（约0.004至6mil）
• 高精度：通常在整个厚度范围内优于±0.005um
• 可同时测定双层甚至三层
• 舒适易用的软件FTM-ProVis Lite和FTM-ProVis Professional
• 功能强大的编程库FTM-ProLib++，适用于您自己的应用程序

OES技术

对低压等离子体沉积技术，如PVD（物理气相沉积）进行客观和连续的过程控制是当今真实存在的问题之一。

除了对等离子体的发光进行目视检查外，有时还使用质谱技术。但是质谱既不方便操作，也不容易解释结果。

与此相比，使用OES（光学发射光谱）和我们的光纤耦合TranSpec Spectrometer的好处是显而易见的：

• 在200 至 1000 nm 的光谱范围内同时测量
• 可检测到极低的发射强度
• 可使用特殊法兰连接到每个真空室
• 免维护技术-无需重新校准波长！
• 舒适易用的软件PEM-ProVis Professional
• 功能强大的编程库PEM-ProLib++，适用于您自己的应用程序