全自动铜厚测量系统
可配备自动上下片机构,实现全自动在线测量线路板表面铜厚。可配置多个测头,对线路板的正反面同时进行测量。 测试项目:Cu厚度
全自动晶圆测量系统
搭载EFEM装置的全自动晶圆测量系统,可实现对晶圆表面镀层厚度,SnAg%的全自动测量。 测试项目: 1.金属层厚度,如Au、Ni、Pd、Sn、Ag、Ti、Cu、等… 2.Bumping的SnAg%比例
全自动载板测量系统
全自动载板测量系统,对载板正反面的金属镀层厚度进行全自动测量 测试项目:金属层厚度如Au、Ni、Pd、Sn、Ag、Ti、Cu、等…
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