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测量能力

 

 ·  非金属表面的金属层厚度(nm,um,uin, Armstrong)
 ·  高阻材料表面的低阻层厚度(nm,um,uin, Armstrong)
 ·  金属箔厚度(nm,um,uin, mm)

 ·  材料方阻率(Ohm/sq)
 ·  电导率/电阻率(mOhm*cm

测量原理

 

利用先进的感应涡流技术,实现对金属层厚度的快速无损测量。

 

 ·  可实现非接触式测量
 ·  坚固耐用
 ·  快速测量
 ·  高重复性和准确性
 ·  能够透过封装和保护层进行测量
 ·  可测量封装或保护层底下的金属层
 ·  测量范围广(可定制不同配置,实现2纳米至2毫米的厚度测量范围)

无损涡流技术

产品特点

 

 ·  先进的测量原理,实现纳米级别的精度测试(1)
 ·  先进的算法,自动消除表面保护层(如硅油)对金属层厚度测量的影响(2)
 ·  可定制专门的测量程序
 ·  无损的接触或非接触式测量(非接触测量需定制测头支架)
 ·  软件界面简洁明了,触控屏操作简易,无需经过复杂培训即可上手操作
 ·  可选蓝牙无线数据传输功能,在PC中可视化管理测量数据

(1)测量精度:对28nm的铝层参考样进行重复测试

 

第一种情况是按照国际标准进行精度评估,测头不动,连续采集数据。

第二种情况是模拟客户现场实际测量动作,每次测量后测头拿起,再放在样品表面。

(2)保护层对金属厚度测量的影响评估

 

直接测量裸露的铝参考样品,以及在铝参考样品表面添加不同厚度的保护层,所测得的数据呈现出优秀的一致性。

仪器参数

应用领域

 

 ·  汽车内外饰、车标、反光罩的PVD镀膜
 ·  半导体背金
 ·  PCB铜箔和覆铜板                         

 ·  光伏电池金属化层
 ·  电池和燃料电池的电极

 ·  镜面反射涂层
 ·  包装材料阻隔
 ·  屏蔽材料应用
 ·  加热材料应用

NMM-1020 手持式金属薄膜测厚仪